紫外線光刻機的這些(xiē)功能不可(kě)忽視(shì)
更新時(shí)間(jiān)：2022-10-10 點擊次數(shù)：1440
紫外線光刻機是印制(zhì)闆制(zhì)造工藝中的重要設備。傳統光刻機的玻璃-邁拉曬架在生(shēng)産過程中需要人(rén)工趕氣,邁拉膜需要經常更換。由于冷卻系統過于臃腫,使得(de)其生(shēng)産成本高(gāo)、效率低(dī),已不能滿足PC B 生(shēng)産的需要。在實驗基礎上(shàng)設計(jì)了雙玻璃曬架光刻機，改進了其主要組成部分,包括曬架系統、光路系統、冷卻系統以及電(diàn)氣和(hé)控制(zhì)系統的整體(tǐ)設計(jì)。
在計(jì)算(suàn)機的控制(zhì)下，利用聚焦電(diàn)子束對有(yǒu)機聚合物（通(tōng)常稱為(wèi)電(diàn)子抗蝕劑或光刻膠）進行(xíng)曝光，受電(diàn)子束輻照後的光刻膠，其物理(lǐ)化學性質發生(shēng)變化，在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區(qū)域，從而在抗蝕劑上(shàng)形成精細圖形。
紫外線光刻機可(kě)廣泛用于MEMS和(hé)光電(diàn)子，例如LED生(shēng)産。它經過**設計(jì)，方便處理(lǐ)各種非标準基片、例如混合、高(gāo)頻元件和(hé)易碎的III-V族材料，包括砷化镓和(hé)磷化铟。而且該設備可(kě)通(tōng)過選配升級套件，實現紫外納米壓印光刻。它具有(yǒu)以下亮點：高(gāo)分辨率掩模對準光刻，特征尺寸優于0.5微米、裝配SUSS的單視(shì)場(chǎng)顯微鏡或分視(shì)場(chǎng)顯微鏡，實現快速準确對準、針對厚膠工藝進行(xíng)優化的高(gāo)分辨光學系統、可(kě)選配通(tōng)用光學器(qì)件，在不同波長間(jiān)進行(xíng)快速切換等。
采用三柔性支點實現高(gāo)精度自動調平；真空(kōng)接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現自動化控制(zhì)；采用積木錯位蠅眼透鏡實現高(gāo)均勻照明(míng)；可(kě)連續設定分離間(jiān)隙；采用雙目雙視(shì)場(chǎng)顯微鏡實現高(gāo)對準精度。整機具有(yǒu)性能可(kě)靠、操作(zuò)方便、自動化程度高(gāo)等特點。
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