等離子清洗機也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理(lǐ)儀，利用等離子體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法不能達到的效果。等離子體(tǐ)是物質的一種狀态，也叫做(zuò)物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離化便成為(wèi)等離子狀态。等離子體(tǐ)的“活性”組分包括：離子、電(diàn)子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清潔機就是通(tōng)過利用這些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。
1.等離子清洗機真空(kōng)泵熱過載保護，請(qǐng)檢查線路和(hé)真空(kōng)泵故障
①如系統參數(shù)無變化，請(qǐng)确認熱繼電(diàn)器(qì)是否自動保護，按複位鍵，然後啓動真空(kōng)發生(shēng)系統。如沒有(yǒu)自動保護，請(qǐng)檢查電(diàn)氣線路有(yǒu)無斷路或短(duǎn)路情況。
②出現此情況請(qǐng)先觀察系統參數(shù)設置有(yǒu)無變化，突然斷電(diàn)會(huì)引起系統參數(shù)歸零，導緻設備出現此類報警。
③檢查導線是否有(yǒu)斷路或短(duǎn)路情況。
④如無上(shàng)述異常，請(qǐng)檢查真空(kōng)泵。
2.等離子清洗機三相供電(diàn)相序異常，請(qǐng)更換相序
①有(yǒu)相序保護繼電(diàn)器(qì)，如出現此類報警，請(qǐng)更換相序。
3.一路供氣壓力過低(dī)，請(qǐng)檢查氣體(tǐ)是否開(kāi)啓或氣體(tǐ)是否耗盡
4.二路供氣壓力過低(dī)，請(qǐng)檢查氣體(tǐ)是否開(kāi)啓或氣體(tǐ)是否耗盡
3及4是氣路控制(zhì)系統報警，出現此報警請(qǐng)先檢查氣體(tǐ)是否打開(kāi)或耗盡。如氣體(tǐ)沒有(yǒu)問題，請(qǐng)檢查設備減壓表、氣路電(diàn)磁閥及流量計(jì)是否正常工作(zuò)。檢查電(diàn)氣線路是否出現斷路或短(duǎn)路。
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