等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理(lǐ)儀，是一種新的*科技(jì)技(jì)術(shù)，利用等離子體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體(tǐ)是物質的一種狀态，也叫做(zuò)物質的第四态，并不屬于常見的固液氣三态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離化便成為(wèi)等離子狀态。等離子體(tǐ)的“活性”組分包括：離子、電(diàn)子、原子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清潔機就是通(tōng)過利用這些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現清潔、塗覆等目的。
等離子清洗機的優點介紹：
一、清洗對象經等離子清洗之後是幹燥的，不需要再經幹燥處理(lǐ)即可(kě)送往下一道(dào)工序。可(kě)以提高(gāo)整個(gè)工藝流水(shuǐ)線的處理(lǐ)效率；
二、等離子清洗使得(de)用戶可(kě)以遠離有(yǒu)害溶劑對人(rén)體(tǐ)的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有(yǒu)害溶劑，這樣清洗後不會(huì)産生(shēng)有(yǒu)害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在全球高(gāo)度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；
四、采用無線電(diàn)波範圍的高(gāo)頻産生(shēng)的等離子體(tǐ)與激光等直射光線不同。等離子體(tǐ)的方向性不強，這使得(de)它可(kě)以深入到物體(tǐ)的微細孔眼和(hé)凹陷的內(nèi)部完成清洗任務，因此不需要過多(duō)考慮被清洗物體(tǐ)的形狀。而且對這些(xiē)難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可(kě)以使得(de)清洗效率獲得(de)大(dà)的提高(gāo)。整個(gè)清洗工藝流程幾分鍾內(nèi)即可(kě)完成，因此具有(yǒu)産率高(gāo)的特點；
六、等離子清洗需要控制(zhì)的真空(kōng)度約為(wèi)100Pa，這種清洗條件很(hěn)容易達到。因此這種裝置的設備成本不高(gāo)，加上(shàng)清洗過程不需要使用價格較為(wèi)昂貴的有(yǒu)機溶劑，這使得(de)整體(tǐ)成本要低(dī)于傳統的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對清洗液的運輸、存儲、排放等處理(lǐ)措施，所以生(shēng)産場(chǎng)地很(hěn)容易保持清潔衛生(shēng)；
八、在完成清洗去污的同時(shí)，還(hái)可(kě)以改善材料本身的表面性能。如提高(gāo)表面的潤濕性能、改善膜的黏着力等，這在許多(duō)應用中都是非常重要的；
九、等離子體(tǐ)清洗可(kě)以不分處理(lǐ)對象，它可(kě)以處理(lǐ)各種各樣的材質，無論是金屬、半導體(tǐ)、氧化物，還(hái)是高(gāo)分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹(shù)脂等高(gāo)聚物）都可(kě)以使用等離子體(tǐ)來(lái)處理(lǐ)。因此特别适合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還(hái)可(kě)以有(yǒu)選擇地對材料的整體(tǐ)、局部或複雜結構進行(xíng)部分清洗。
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