等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子表面處理(lǐ)儀，是一種新的技(jì)術(shù)，利用等離子體(tǐ)來(lái)達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體(tǐ)是物質的一種狀态，也叫做(zuò)物質的第四态。對氣體(tǐ)施加足夠的能量使之離化便成為(wèi)等離子狀态。等離子體(tǐ)的“活性”組分包括：離子、電(diàn)子、活性基團、激發态的核素（亞穩态）、光子等。等離子清洗機就是通(tōng)過利用這些(xiē)活性組分的性質來(lái)處理(lǐ)樣品表面，從而實現清潔等目的。
等離子清洗機中的等離子體(tǐ)是物質的一種存在狀态，通(tōng)常物質以固态、液态、氣态三種狀态存在，但(dàn)在一些(xiē)特殊的情況下有(yǒu)第四種狀态存在，如地球大(dà)氣中電(diàn)離層中的物質。等離子體(tǐ)狀态中存在下列物質：處于高(gāo)速運動狀态的電(diàn)子；處于激活狀态的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但(dàn)物質在總體(tǐ)上(shàng)仍保持電(diàn)中性狀态。
等離子清洗機的清洗原理(lǐ)是在真空(kōng)腔體(tǐ)裏，通(tōng)過射頻電(diàn)源在一定的壓力情況下起輝産生(shēng)高(gāo)能量的無序的等離子體(tǐ)，通(tōng)過等離子體(tǐ)轟擊被清洗産品表面，以達到清洗目的。
等離子清洗機清洗原理(lǐ)：
1.激活鍵能，交聯作(zuò)用
等離子體(tǐ)中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大(dà)部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體(tǐ)作(zuò)用到固體(tǐ)表面後，可(kě)以将固體(tǐ)表面的原有(yǒu)的化學鍵産生(shēng)斷裂，等離子體(tǐ)中的自由基與這些(xiē)鍵形成網狀的交聯結構，大(dà)大(dà)地激活了表面活性。
2.對材料表面的刻蝕作(zuò)用--物理(lǐ)作(zuò)用
等離子清洗機中的大(dà)量離子、激發态分子、自由基等多(duō)種活性粒子，作(zuò)用到固體(tǐ)樣品表面，不但(dàn)清除了表面原有(yǒu)的污染物和(hé)雜質，而且會(huì)産生(shēng)刻蝕作(zuò)用，将樣品表面變粗糙，形成許多(duō)微細坑窪，增大(dà)了樣品的比表面。提高(gāo)固體(tǐ)表面的潤濕性能。
3.形成新的官能團--化學作(zuò)用
如果放電(diàn)氣體(tǐ)中引入反應性氣體(tǐ)，那(nà)麽在活化的材料表面會(huì)發生(shēng)複雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些(xiē)官能團都是活性基團，能明(míng)顯提高(gāo)材料表面活性。
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