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  • 薄膜測厚儀
    薄膜測厚儀

    更新時(shí)間(jiān):2024-06-04

    型号:

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    薄膜測厚儀采用光譜幹涉原理(lǐ)進行(xíng)測量,具有(yǒu)非接觸、無破壞、快速等特點,可(kě)在真空(kōng)環境使用;可(kě)與大(dà)行(xíng)程工件台配合,實現大(dà)面積膜厚自動測量。
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  • 微納結構三維形貌測量儀
    微納結構三維形貌測量儀

    更新時(shí)間(jiān):2024-06-04

    型号:

    浏覽量:1907

    微納結構三維形貌測量儀系列微納結構三維形貌檢測儀,基于白光幹涉掃描原理(lǐ),以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準,利用納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有(yǒu)自主知識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法,實現連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構,由此獲得(de)待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結果。
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