微納結構三維形貌測量儀

系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光幹涉掃描原理(lǐ)，以光波長作(zuò)為(wèi)測量基準，利用納米級高(gāo)精度掃描系統結合具有(yǒu)自主知識産權的高(gāo)精度解析算(suàn)法，實現連續或台階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得(de)待測物體(tǐ)三維形貌、表面紋理(lǐ)、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本産品具有(yǒu)以下特點：
高(gāo)的測量精度：基于幹涉測量原理(lǐ)，測量重複性達到1nm。
大(dà)的測量範圍：采用*掃描系統，在保證納米定位精度的同時(shí)，單場(chǎng)掃描範圍可(kě)達到10mm，結合白光光源重構方法，可(kě)滿足曲面元件等大(dà)範圍物體(tǐ)測量需求。
全自動測量：标配自動檢焦功能，結合自動調焦裝置，無需複雜調節過程，一鍵操作(zuò)即可(kě)完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平台，可(kě)自動完成大(dà)面積三維數(shù)據拼接操作(zuò)
高(gāo)集成度、安裝簡便：整機集成為(wèi)統一整體(tǐ)，僅需外接220v電(diàn)源，通(tōng)過USB3.0 數(shù)據傳輸，即可(kě)完成數(shù)據傳輸與測量
具有(yǒu)高(gāo)的性價比：保證系統性能的同時(shí)，降低(dī)制(zhì)造成本
靈活性高(gāo)：可(kě)根據用戶需求，對系統進行(xíng)改進，滿足工業不同應用場(chǎng)景需求。