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DS-2000/14G型光刻機

簡要描述：DS-2000/14G型光刻機該機可(kě)采用紫外光、深紫外光、甚至更短(duǎn)波長的極紫外光作(zuò)為(wèi)光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統掩模闆，采用積木錯位蠅眼透鏡實現高(gāo)均勻照明(míng)。

産品型号：
廠商性質：生(shēng)産廠家(jiā)
更新時(shí)間(jiān)：2024-06-04
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Product Category

芯片加工設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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品牌	其他品牌	價格區(qū)間(jiān)	面議
儀器(qì)種類	微流控芯片系統	應用領域	醫(yī)療衛生(shēng),環保,電(diàn)子

産品名稱：DS-2000/14G型光刻機

主要技(jì)術(shù)指标：

單次曝光面積：1.4mm×1mm;

大(dà)曝光基片：100mm ×100mm ;

對準精度：±0.8μm（半自動對準）;

大(dà)膠厚：300μm（SU8膠）;

自動逐場(chǎng)對焦；

分辨力：1μm；

X、Y、Z、θ四自由度電(diàn)動位移台 ;

X、Y平移重複定位精度：0.65μm（3σ）;

Z向運動精度：1μm。

DS-2000/14G型光刻機技(jì)術(shù)特點：

該機可(kě)采用紫外光、深紫外光、甚至更短(duǎn)波長的極紫外光作(zuò)為(wèi)光源，用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統掩模闆，采用積木錯位蠅眼透鏡實現高(gāo)均勻照明(míng)，并配備了雙目雙視(shì)顯微鏡和(hé)CCD圖象對準系統（可(kě)同時(shí)使用），拼接獲得(de)大(dà)面積圖形，曝光設定采用微機控制(zhì)，菜單界面友(yǒu)好，操作(zuò)簡便。

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