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  • URE-2000/35型紫外光刻機
    URE-2000/35型紫外光刻機

    更新時(shí)間(jiān):2024-06-04

    型号:

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    URE-2000/35型紫外光刻機,采用三柔性支點實現高(gāo)精度自動調平;真空(kōng)接觸自動曝光;樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現自動化控制(zhì)。
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  • TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光刻機
    TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光刻機

    更新時(shí)間(jiān):2024-06-04

    型号:

    浏覽量:1709

    TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光刻機,照明(míng)系統:冷光橢球鏡; 350W進口直流高(gāo)壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學系統:固定光欄、可(kě)變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個(gè)透鏡)、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
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  • DS-2000/14G型光刻機
    DS-2000/14G型光刻機

    更新時(shí)間(jiān):2024-06-04

    型号:

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    DS-2000/14G型光刻機該機可(kě)采用紫外光、深紫外光、甚至更短(duǎn)波長的極紫外光作(zuò)為(wèi)光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列替代傳統掩模闆,采用積木 錯位蠅眼透鏡實現高(gāo)均勻照明(míng)。
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