産品名稱：TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光刻機
主要技(jì)術(shù)指标：
曝光場(chǎng)面積：20mm×20mm
分辨力：2μm；
照明(míng)不均勻性：±2%
物鏡倍率：2.5倍(縮小(xiǎo))
光源：350W球形汞燈（曝光譜線： i線）
基片尺寸：4 英寸
工件台運動範圍：X：>150mm、 Y：>150mm；
工件台運動定位精度：±0.65μm
調焦台運動靈敏度：1μm
對準精度：±0.5μm
調焦台運動行(xíng)程：5mm
檢焦：CCD檢測，檢測精度0.5微米
轉動台行(xíng)程：±4°以上(shàng)
基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可(kě)适應非标準片或碎片)，厚度：0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影(yǐng)光刻機主要技(jì)術(shù)配置：
（1）照明(míng)系統：冷光橢球鏡; 350W進口直流高(gāo)壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調節台; 光學系統：固定光欄、可(kě)變光欄、快門(mén)、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組（79個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇
（2）工件台系統：X台：電(diàn)機驅動器(qì)（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光栅（美國） Y台：電(diàn)機及驅動器(qì)（日本樂孜）、絲杠（日本NSK）、導軌2（日本THK）、光栅2（美國） 轉動台：電(diàn)機及驅動器(qì)（日本樂孜），轉動軸系 調平台：電(diàn)機及驅動器(qì)（3套）、調平機構 Z台：電(diàn)機及驅動器(qì)（日本樂孜）、絲杠、上(shàng)升導向機構; 承片台：3英寸（可(kě)增加4英寸、2英寸、1英寸等）
（3）檢焦系統：焦面光學檢測系統、CCD、焦面檢測軟件
（4）對準系統：對準光學檢測系統（2套）、CCD（2套）、對準軟件
（5）電(diàn)控系統：汞燈電(diàn)源及觸發器(qì)、主機控制(zhì)系統、軟件、計(jì)算(suàn)機、顯示器(qì)、接口
（6）其他部件：底座 減震器(qì)（4個(gè));控制(zhì)櫃桌;氣動系統;電(diàn)磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空(kōng)表
（7）其他附件：真空(kōng)泵一台(無油泵);空(kōng)壓機一台（靜音(yīn)泵）;管道(dào)
當前位置：
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