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URE-2000/35型紫外光刻機

簡要描述：URE-2000/35型紫外光刻機，采用三柔性支點實現高(gāo)精度自動調平；真空(kōng)接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現自動化控制(zhì)。

産品型号：
廠商性質：生(shēng)産廠家(jiā)
更新時(shí)間(jiān)：2024-06-04
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芯片加工設備

激光切割機熱壓鍵合機等離子清洗機光刻機

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儀器(qì)種類	微流控芯片系統	應用領域	醫(yī)療衛生(shēng),環保,電(diàn)子

産品名稱：URE-2000/35型紫外光刻機

主要技(jì)術(shù)指标：

曝光面積：100mm×100mm

分辨力：1um（膠厚1.5μm的正膠）

對準精度：±0.8μm

大(dà)膠厚：300μm（SU8膠）

掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch

樣片尺寸：直徑Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可(kě)擴展為(wèi)15mm)；

照明(míng)均勻性：±4%（Ф100mm 範圍）

汞燈功率：350W（直流）

掩模相對于樣片運動行(xíng)程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

URE-2000/35型紫外光刻機技(jì)術(shù)特點：

創新采用三柔性支點實現高(gāo)精度自動調平；真空(kōng)接觸自動曝光；樣片升降、調平、接觸、曝光、複位實現自動化控制(zhì)；采用積木錯位蠅眼透鏡實現高(gāo)均勻照明(míng)；可(kě)連續設定分離間(jiān)隙；采用雙目雙視(shì)場(chǎng)顯微鏡實現高(gāo)對準精度。整機具有(yǒu)性能可(kě)靠、操作(zuò)方便、自動化程度高(gāo)等特點。

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